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turbo pump_turbo pump

时间:2022-12-13 17:29 阅读数:6928人阅读

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半导体知识:ETCH知识100问|163_手机网易网当圧力到达100mTD寺再以turbo pump 抽真空至1mT以下真空计的功能为何?答:侦测chamber的压力,确保wafer在一定的压力下process Transfer module 之robot 功用为何?答:将wafer传进chamber与传出台式扫描电镜SEM-30分辨率5nm,放大倍率20X~100.000X_纳米_图像_Lianxi真空系统:Turbo Molecular Pump 自动功能:Start,Focus,Filament,Brightness/contrast 操作系统:windows7 尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm 重量:90kg 台式扫描电镜SEM-30 具有电动控制的样品。

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